3900系列寬帶等離子圖案晶圓外置氣缸
超分辨率寬帶等離子圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng) 3900系列寬帶等離子體缺陷檢測系統(tǒng)支持前沿IC器件的晶圓級缺陷發(fā)現(xiàn),工藝調(diào)試和偏移監(jiān)控。3900系列采用創(chuàng)新的硬件技術生產(chǎn)超分辨率深紫外(SR-DUV)波段。當與**算法(如pin point 和super cell )結(jié)合使用時,3900系列的SR-DUV可在≤10nm設計節(jié)點設備上的高產(chǎn)量關鍵模式位置中提供高靈敏度的缺陷捕獲。憑借支持內(nèi)聯(lián)監(jiān)控要求的吞吐量,3900系列將靈敏度與速度相結(jié)合,實現(xiàn)了Discovery of Light ,以減少缺陷發(fā)現(xiàn)所需的時間,并提供晶圓級數(shù)據(jù),以完整地表征過程問題。 顯示較少
應用
缺陷發(fā)現(xiàn),熱點發(fā)現(xiàn),流程調(diào)試,EUV打印檢查,工程分析,生產(chǎn)線監(jiān)控,流程窗口發(fā)現(xiàn)
相關產(chǎn)品
2930和2935:光學寬帶等離子晶圓缺陷檢測器,補充3900系列的檢測性能,用于≤10nm設計節(jié)點器件的缺陷發(fā)現(xiàn)。
2930系列寬帶等離子圖案晶圓外置氣缸
寬帶等離子圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
2930系列寬帶等離子體缺陷檢測系統(tǒng)在光學缺陷檢測方面取得了進步,可以在**IC器件上發(fā)現(xiàn)良率關鍵缺陷。2930和2935寬帶等離子體缺陷檢測儀采用增強型寬帶等離子照明技術,新型光學模式,pin point 和super cell 技術,可提供捕獲各種工藝層,材料類型和進程棧。2930系列將靈敏度與光學晶圓缺陷檢測速度相結(jié)合,實現(xiàn)了Speed of Light 的發(fā)現(xiàn) - 快速缺陷發(fā)現(xiàn)和以擁有成本*全表征缺陷問題。作為在線監(jiān)測的行業(yè)標準,29xx系列可以保護工廠
顯示較少
應用
缺陷發(fā)現(xiàn),熱點發(fā)現(xiàn),流程調(diào)試,工程分析,生產(chǎn)線監(jiān)控,流程窗口發(fā)現(xiàn)
相關產(chǎn)品
3900和3905:具有超分辨率深紫外(SR-DUV)波段的光學寬帶等離子晶圓缺陷檢測器,可補充2930系列的檢測性能,以便在≤10nm設計節(jié)點器件上發(fā)現(xiàn)缺陷。
2920和2925:光學寬帶等離子體晶圓缺陷檢測器,可在16nm及以下的存儲器和邏輯器件上提供良率關鍵的缺陷捕獲。
2910和2915:光學寬帶等離子體晶圓缺陷檢測器,可在2X / 1Xnm存儲器和邏輯器件上提供與產(chǎn)量相關的缺陷捕獲。
2900和2905:光學寬帶等離子體晶圓缺陷檢測器,可在2Xnm存儲器和邏輯器件上捕獲與產(chǎn)量相關的缺陷。
激光掃描圖案化晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
Voyager 1015激光掃描檢測系統(tǒng)支持生產(chǎn)斜坡缺陷監(jiān)測,專門用于浸沒(193i)和EUV光刻的后顯影檢測(ADI),此時晶圓仍可進行返工。DUV激光器,新的光學設計和的采集立體角產(chǎn)生了ADI在先進設計節(jié)點上發(fā)現(xiàn)的緊密節(jié)距所需的缺陷靈敏度。定制傳感器和可切換激光器可以檢測精*光刻膠材料,而傾斜照明和先進算法可抑制ADI檢測固有的噪聲源,從而獲得更相關的結(jié)果。Voyager 1015可提供光刻電池和晶圓廠其他模塊中關鍵缺陷的高吞吐量捕獲,從而可以快速識別和糾正過程問題。
應用
線路監(jiān)控,工具監(jiān)控,工具*證,193i和EUV抗拒資格
Puma 9980激光掃描圖案晶圓系統(tǒng)
激光掃描圖案化晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
Puma 9980激光掃描檢測系統(tǒng)具有多種靈敏度和速度增強功能,能夠捕獲大量制造所需的吞吐量(1Xnm**邏輯和**DRAM和3D NAND存儲器件)。作為**晶圓缺陷檢測和審查工具組合的一部分,Puma 9980通過增強先進圖案層上缺陷類型的捕獲,為生產(chǎn)斜坡監(jiān)控提供吞吐量的解決方案。Puma 9980采用NanoPoint 設計感知功能,通過提高缺陷靈敏度,改進系統(tǒng)滋擾分級和加強缺陷坐標精度,產(chǎn)生更多可操作的檢測結(jié)果。
線路監(jiān)控,工具監(jiān)控,工具資格*證
相關產(chǎn)品
Puma 9850:為2X / 1Xnm存儲器和邏輯器件提供所有管芯區(qū)域的高靈敏度偏移監(jiān)控。
Puma 9650:在≤28nm內(nèi)存和邏輯器件的所有芯片區(qū)域提供高性能的偏移監(jiān)控。
Puma 9500:為≤32nm內(nèi)存和邏輯設備提供高性能的偏移監(jiān)控。
8系列高生產(chǎn)力被仿造的薄酥餅特寫鏡頭
8系列
**率圖案化晶圓寬范圍檢測系統(tǒng)
8系列圖案化晶圓檢測系統(tǒng)以*高的吞吐量檢測各種缺陷類型,以快速識別和解決生產(chǎn)過程問題。8系列可實現(xiàn)150mm,200mm或300mm硅和非硅襯底晶圓的成本效益缺陷檢測,從*初的產(chǎn)品開發(fā)到批量生產(chǎn),通過提供更高的批次和晶圓采樣,幫助晶圓廠降低偏移風險。8系列晶圓缺陷檢測系統(tǒng)采用LED掃描技術,具有可選擇的光譜,同時明場和暗場光路以及自動晶圓缺陷分級,旨在使**的IC晶圓廠和傳統(tǒng)節(jié)點晶圓廠能夠加速其產(chǎn)品的交付 - 可靠且可靠更低的花費。
顯示較少
應用
過程監(jiān)控,工具監(jiān)控,出廠質(zhì)量控制(OQC)
相關產(chǎn)品
CIRCL: 8系列檢測技術也可作為CIRCL缺陷檢測,計量和審查集群工具的模塊。
放大CIRCL全表面晶圓
全表面晶圓缺陷檢測,計量和檢查集群系統(tǒng)
CIRCL 集群工具有四個模塊,覆蓋所有晶圓表面,以高吞吐量提供并行數(shù)據(jù)采集,實現(xiàn)**的過程控制。包含***一代CIRCL5系統(tǒng)的模塊包括:正面晶圓缺陷檢測; 晶圓邊緣缺陷檢查,輪廓,計量和審查; 背面晶圓缺陷檢查和審查; 并且,正面缺陷的光學檢查和分類。數(shù)據(jù)采集由DirectedSampling 控制,DirectedSampling 是一種創(chuàng)新方法,它使用一次測量的結(jié)果觸發(fā)群集中的其他類型的測量。CIRCL5的模塊化配置可靈活滿足不同的過程控制需求,節(jié)省整個晶圓廠空間,縮短晶圓排隊時間,并提供經(jīng)濟**的升級途徑,以保護晶圓廠的資本投資。
Surfscan SP3無圖案晶圓檢測系統(tǒng)
無圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
該的Surfscan SP7無圖形晶圓檢測系統(tǒng)通過以下*證支持**的邏輯和存儲器設計節(jié)點:工藝,材料和工具,包括用于IC制造的EUV光刻技術; 用于基板制造的先進基板,例如主要硅,外延和SOI晶片; 和設備制造的加工工具性能。Surfscan SP7采用具有峰值功率控制的DUV激光光源,新穎的光學架構(gòu),一系列光斑尺寸和先進的算法,可為裸晶圓,光滑和粗糙的薄膜以及易碎的抗蝕劑提供*高的靈敏度和增強的缺陷分類。光刻堆棧。Surfscan SP7還集成了高分辨率SURFmonitor 模塊,可以表征表面質(zhì)量并檢測細微缺陷,從而幫助確定流程和工具的質(zhì)量。
應用
工藝*證,工具*證,工具監(jiān)控,輸出晶圓質(zhì)量控制,進線晶圓質(zhì)量控制,EUV抗蝕劑和掃描儀*證,工藝調(diào)試
相關產(chǎn)品
Surfscan SP5 XP:無圖形晶圓表面檢測系統(tǒng),具有DUV靈敏度和高吞吐量,適用于1Xnm設計節(jié)點的IC,基板和設備制造。
Surfscan SP5:無圖形晶圓表面檢測系統(tǒng),具有DUV靈敏度和高吞吐量,適用于2X / 1Xnm設計節(jié)點的IC,基板和設備制造。
Surfscan SP3:具有DUV靈敏度和高吞吐量的無圖案晶圓檢測系統(tǒng),適用于2Xnm設計節(jié)點的IC,基板和設備制造。
電子束晶圓缺陷檢查和分類系統(tǒng)
eDR7280 電子束(電子束)晶圓缺陷檢查和晶圓分類系統(tǒng)可捕獲高分辨率的缺陷圖像,以準確表示晶圓上的缺陷數(shù)量。eDR7280缺陷檢測系統(tǒng)利用*五代電子束浸沒式光學系統(tǒng)和實時自動缺陷分類(RT-ADC 2.0)功能,提供重新定位,成像和分類產(chǎn)量關鍵缺陷所需的性能,以實現(xiàn)前沿設計節(jié)點。eDR7280具有多種創(chuàng)新應用,可滿足廣泛的晶圓廠使用案例,包括臨界點檢測(CPI),光罩缺陷檢查,無圖形晶圓缺陷檢查和工藝窗口*證。
秦皇島維克主要經(jīng)營德國、英國、法國、意大利等歐洲國家以及美國、加拿大,各大生產(chǎn)商的各種進口工業(yè)產(chǎn)品。十幾年的國際貿(mào)易經(jīng)驗和*業(yè)的銷售團隊、售后技術支持,使我們積累了大量的重要客戶和*質(zhì)的產(chǎn)品供應商。在業(yè)內(nèi)擁有良好口碑和信譽。秦皇島維克歐洲區(qū)總部位于德國法蘭克福,美國區(qū)總部坐落于新澤西,在那里我們均配有專門的貨倉及配套的運輸公司,保證每周至少一次航班將貨物運抵北京并正規(guī)報關。
秦皇島維克托中國總代理品牌有:
Pearson(皮爾遜電子),Rehobot(液壓產(chǎn)品),Copeland(球閥),Autoflow(流量開關),Airtrol(開關),North Star(探頭),Lynair(氣缸),Kemkraft(方向盤)等。
秦皇島維克托經(jīng)銷的優(yōu)勢品牌有:
● HUMPHREY快速排氣閥、美國PLAST-O-MATIC穩(wěn)壓閥、美國Vickers閥門、德國BAR氣動球閥、荷蘭GORTER檢修包、德國G.BEE球閥、德國H+L電磁閥
● 閥門附件:美國PMV閥門定位器回訊器 、美國Go Switch開關、TopWorx 閥門控制器、美國STONEL閥位回訊器、限位開關(斯通奈爾)、Masoneilan減壓閥、WESTLOCK閥門控制裝置(西索)、瑞典REMOTE、CONTROL執(zhí)行器、美國jamebury氣動執(zhí)行器 (詹姆斯伯雷)
● 檢測儀表: 美國FIREYE火檢系統(tǒng)、德國Durag火焰檢測器、美國NORTH、AMERICAN噴油嘴總成(北美)、 美國 Fire sentry火焰探測器
● 過濾產(chǎn)品:美國NUGNET濾芯(牛津特) 美國HELCO 濾芯 德國MAHLE過濾器 濾芯 美國Des.Case空濾器 德國VOTECH濾網(wǎng) 濾芯 意大利FILTREC濾芯 ,意大利MP FILTRI濾芯(翡翠)
● 工業(yè)電氣: 德國SCHUHMANN、MESSTECHNIK頻率轉(zhuǎn)換器、美國Dongan變壓器、美國Micron變壓器、加拿大ALLANSON點火變壓器、德國wachendorff信號轉(zhuǎn)換器、美國MARARHON電源分配器、德國PAUL-VAHLE集電器、美國GLEASON REEL電纜卷筒、美國BLACK BOX、美國pearson電流傳感器、德國HIQUEL控制模塊、美國ACME變壓器、美國LA MARCHE充電器、德國Walther插頭
● 流量儀表:美國Brooks流量計/閥門、美國GENTRAN
● 氣動元件: 美國fabco-air氣缸、美國RAPID AIR活塞、美國R&I氣缸、美國Airpel氣缸
● 機械傳動:德國KTR聯(lián)軸器、德國SMW卡盤、德國SMW軸承、德國FIPA吸盤、美國WICHITA離合器、美國NEXEN離合器、美國WARNER電磁抱閘、美國magnaloy聯(lián)軸器、美國TB WOODS聯(lián)軸器
● 傳 感 器:法國BEI編碼器、德國GEMCO傳感器、美國SENSOTEC壓力傳感器、美國NOSHOK壓力變送器、美國Vitec振動傳感器、美國AI-TEK轉(zhuǎn)速探頭 傳感器、美國k-tek(液位儀表)、美國PROVIBTECH通用型振動探頭、美國Teledyne傳感器 配件 、德國hubner編碼器、美國VIBCO振蕩器
● 泵 電 機:美國LESSON電機/減速機、德國AC-MOTO電機、瑞典atlas copco馬達、美國AMETEK電機、美國DAYTON電機、美國VICKERS泵、美國GARDNER DENVER泵、美國dynapar編碼器、美國Harowe編碼器、德國SPECK泵、墨西哥A.O.SMITH電機、德國loher電機
● 其 他:美國GE燃機/熱電偶、美國CONAX GE熱電偶、美國ITT NEO-DYN壓力開關、美國DEUBLIN接頭、美國FAIRCHILD增壓器、美國HOTWATT加熱棒、德國Walter+Hartmann張力顯示表、奧地利JAKO溫度表、美國BRISKHEAT加熱帶、加拿大GREYSTONE變送器、德國HAINZL油缸、美國linemaster腳踏開關、美國TOOLTRONICS探針、德國MESSKO油溫度計、美國KEY流量計、美國TORQ超速開關、德國VOITH電液轉(zhuǎn)換器