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銷售原裝進(jìn)口AALBORG氣體質(zhì)量流量計(jì)

  產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
  典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
  設(shè)計(jì)特點(diǎn):
  -剛性金屬結(jié)構(gòu)
 ?。鞒谭秶鷱?開始到10sccm直到0到1000slpm
 ?。?大壓力500psig(34.5Bar)
 ?。孤┞?*10-7氦氣
  -NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
 ?。蓛A斜的LCD讀表
 ?。?-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
 ?。娐繁Wo(hù)
 ?。捎米鞅銛y式的設(shè)備
 ?。?到100比例顯示
  -可配備流量計(jì)算機(jī)
  精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力??蛇x±1%滿量程(標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
  重復(fù)性:±0.5%滿量程
  回應(yīng)時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過滿量程25-100一般2秒
  溫度系數(shù):0.15%滿量程/℃
  壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar)
  氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃)
  輸出信號(hào):0-5Vdc,*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
  傳感器輸出:+12Vdc;*大200Ω。+24Vdc可選
  時(shí)間恒量:800ms


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