產(chǎn)品特點(diǎn):性?xún)r(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
-剛性金屬結(jié)構(gòu)
?。鞒谭秶鷱?開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm
?。?大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
?。璑IST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
?。蓛A斜的LCD讀表
?。?-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
?。娐繁Wo(hù)
-可用作便攜式的設(shè)備
?。?到100比例顯示
-可配備流量計(jì)算機(jī)
精度:±1.5%滿(mǎn)量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力??蛇x±1%滿(mǎn)量程(標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
重復(fù)性:±0.5%滿(mǎn)量程
回應(yīng)時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過(guò)滿(mǎn)量程25-100一般2秒
溫度系數(shù):0.15%滿(mǎn)量程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿(mǎn)量程/psi(0.07bar)
氣體/周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉(5℃-50℃)
輸出信號(hào):0-5Vdc,*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出:+12Vdc;*大200Ω。+24Vdc可選
時(shí)間恒量:800ms