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美國INFICON公司 氦質(zhì)譜檢漏儀
UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀
在檢測低至 10-12 atm cc/s 泄漏的穩(wěn)定性和敏感度方面具有新的表現(xiàn)
Ø         CAL(智能漏率計演算)確保在全部測量范圍內(nèi)閃電般的快速響應(yīng)
Ø         可旋轉(zhuǎn)顯示器/控制界面和可選遙控手持控制器提高操作的靈活性
Ø         更為方便的移動式
Ø         連接口均位于一側(cè)
Ø         可靠性更高的真空系統(tǒng)
Ø         通過e-mail軟件升級可**保持UL1000的*佳性能
Ø         離子源三年保修期
UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀的詳細資料：
Ø         INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件*準檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于*準的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。
UL1000符合做微電子工業(yè)市場的要求。其特點從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL（智能化漏率計算系統(tǒng)）,無*倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于**在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間平衡的程序。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并**氦污染。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。
應(yīng)用：
Ø         半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵
Ø         工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝
Ø         元器件在組裝前的漏率測試
Ø         要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合